投影透镜

释

刊载时间 2026-11-04 09:05:04

拼音tóu yǐng tòu jìng
字母tou ying tou jing
首字母tytj
注音ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ
注音符号ㄊㄡ ㄧㄥ ㄊㄡ ㄐㄧㄥ

投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜,用于对准的激光束照在晶圆上,其反射束经过曝光系统的透镜,汇聚在掩模上成像。

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