离子铣

刊载时间 2026-11-04 07:32:44

离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。

拆字组词

• 离
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• 铣

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